迈为股份获得发明专利授权：“用于清洗工艺腔室的方法及其应用”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示迈为股份（300751）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于清洗工艺腔室的方法及其应用”，专利申请号为CN202211482170.9，授权日为2025年2月18日。

专利摘要：本申请公开了一种用于清洗工艺腔室的方法及其应用，属于真空镀膜生产设备技术领域。一种用于清洗工艺腔室的方法，包括：(a)启动远程等离子体系统，清洗工艺气体被激发成等离子体，远程等离子体供应至工艺腔室；(b)当远程等离子体系统工作达到稳定状态后，再开启工艺腔室内的射频电源系统，射频电源系统对位于工艺腔室中的远程等离子体再次激发增强，在清洗时间段期间使用远程等离子体系统和射频电源系统两者共同作用清洁工艺腔室；(c)当清洗工艺腔室完毕后，先关闭工艺腔室内的射频电源系统；(d)再关闭远程等离子体系统。本申请可以缓解当前清洗方式存在的刻蚀速率慢、刻蚀范围窄或不能全面覆盖的问题，可以提升清洗刻蚀效率及速率。

今年以来迈为股份新获得专利授权15个，较去年同期增加了25%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4.19亿元，同比增47.24%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。