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长川科技获得实用新型专利授权:“一种取放装置及搬运机械手”

来源:证券之星企业动态 2025-02-18 03:23:25
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长川科技(300604)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种取放装置及搬运机械手”,专利申请号为CN202420246418.X,授权日为2025年2月18日。

专利摘要:本申请公开了一种取放装置及搬运机械手,涉及半导体制备技术领域,本申请的取放装置,包括壳体以及开设在所述壳体第一侧面的多个出气口,多个所述出气口沿圆周排布;所述出气口与气源连通,用于通过所述出气口喷出正压气流,所述出气口处设置有与所述出气口连通的伯努利吸盘,且所述第一侧面间隔设置有多个缓冲垫;其中,多个所述伯努利吸盘同时吸附晶圆时,所述缓冲垫用于与被吸附的晶圆接触,以缓冲所述伯努利吸盘吸附晶圆的力。本申请提供的取放装置及搬运机械手,能够吸附翘曲的晶圆。

今年以来长川科技新获得专利授权30个,较去年同期增加了172.73%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4亿元,同比增16.71%。

数据来源:天眼查APP

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