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海目星获得实用新型专利授权:“膜材固定装置以及扩晶设备”

来源:证券之星企业动态 2025-02-13 02:34:31
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示海目星(688559)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“膜材固定装置以及扩晶设备”,专利申请号为CN202323472184.5,授权日为2025年2月11日。

专利摘要:本实用新型公开一种膜材固定装置以及扩晶设备,其中,所述膜材固定装置包括安装座、吸附固定组件以及加热组件;所述吸附固定组件安装于所述安装座上,所述吸附固定组件设有吸附面,所述吸附面用于放置膜材,所述吸附固定组件用于吸附固定或者释放膜材;所述吸附固定组件设有安装位,所述安装位设于所述吸附面的下方,所述加热组件设于所述安装位,所述加热组件用于加热所述吸附面,以使所述吸附面每一处地方受热均匀。通过上述设置,有效地解决目前的扩晶装置加热不均匀易使膜材起皱而导致扩晶后的芯片无法均匀地排布的问题。

今年以来海目星新获得专利授权61个,较去年同期增加了41.86%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.49亿元,同比增3.61%。

数据来源:天眼查APP

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