证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆电性检测装置以及半导体机台”,专利申请号为CN202420135763.6,授权日为2025年2月11日。
专利摘要:本实用新型提供一种晶圆电性检测装置,包括:探针卡底座,设于半导体机台上,所述探针卡底座包括底座内环和底座外环,且所述底座内环套设于所述底座外环的内壁上;多个弹性元件,设于所述底座内环上;真空吸附结构,设于所述底座外环上;探针卡,设于所述探针卡底座的一侧,且所述探针卡位于所述弹性元件上;以及电性测试结构,设于所述探针卡上,且所述电性测试结构电连接于所述探针卡。通过本实用新型公开的一种晶圆电性检测装置以及半导体机台,能够提高探针卡的使用寿命。
今年以来晶合集成新获得专利授权20个,较去年同期减少了9.09%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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