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晶合集成获得实用新型专利授权:“晶圆承载装置及机台”

来源:证券之星企业动态 2025-01-22 02:27:42
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶圆承载装置及机台”,专利申请号为CN202421154455.4,授权日为2025年1月21日。

专利摘要:本申请涉及一种晶圆承载装置及机台,包括:承载件,包括固定端、自由端及位于固定端、自由端之间的承载本体,承载本体用于承载多个沿其延伸方向依次间隔分布的多个晶圆,承载本体的固定端固定于支撑物,承载本体内包括沿延伸方向延伸的滑槽,质量补偿滑块位于滑槽,接收器设置于质量补偿滑块的靠近支撑物的侧表面,具有与延伸方向相交的信号接收面,发射器设置于滑槽靠近支撑物的一侧,移动装置与接收器连接,用于在质量补偿滑块偏离目标平衡位置的情况下,带动质量补偿滑块朝向目标平衡位置移动,当质量补偿滑块位于目标平衡位置时,发射器的出射信号沿延伸方向照射至信号接收面的目标中心位置,从而改变晶圆承载装置的重心,以改善其形变。

今年以来晶合集成新获得专利授权2个,与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。

数据来源:天眼查APP

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