晶合集成获得实用新型专利授权：“化学气相沉积设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202421087736.2，授权日为2024年12月27日。

专利摘要：本申请涉及一种化学气相沉积设备，包括：至少一个沉积腔室，用于承载晶圆，沉积腔室具有多个抽气孔；抽气装置，用于通过多个抽气孔对沉积腔室进行抽气；流量控制装置，设置在至少部分抽气孔上，且流量控制装置与抽气孔插接或位于抽气孔内，用于在抽气装置抽气时调整对应的抽气孔的气流流量。上述化学气相沉积设备中，抽气装置进行抽气，通过抽气孔将沉积腔室内的副产物排出，将流量控制装置设置在至少部分抽气孔上，流量控制装置可以调整至少部分抽气孔的气流流量，从而改变各个抽气孔内的抽气速度，平衡各个抽气孔内副产物的排出速度，从而提高沉积在晶圆表面的薄膜的均匀性。

今年以来晶合集成新获得专利授权1个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。