证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“多次可编程存储器的单元结构及其制作方法”,专利申请号为CN202010182566.6,授权日为2024年12月27日。
专利摘要:本发明提供一种多次可编程存储器的单元结构及其制作方法,包括衬底,位于衬底上的浮栅,位于浮栅侧壁的第一侧墙及依次位于浮栅上的SAB薄膜和控制栅,且控制栅和SAB薄膜沿垂直于浮栅厚度方向延伸覆盖部分所述第一侧墙。本发明提供的多次可编程存储器的单元结构中所述控制栅通过耦合控制浮栅进行数据的存储与擦除,无需额外的隧穿区域(Tunneling area),使多次可编程存储器的单元结构的尺寸减小,满足MTP器件的小尺寸化需求。进一步的,所述SAB薄膜和所述控制栅沿垂直于浮栅厚度方向延伸覆盖部分第一侧墙,以减弱或避免刻蚀SAB薄膜时对第一侧墙的破坏,提高多次可编程存储器的性能。
今年以来晶合集成新获得专利授权287个,较去年同期增加了18.6%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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