证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体器件的制备方法、半导体器件以及测试方法”,专利申请号为CN202411110156.5,授权日为2024年12月24日。
专利摘要:本申请公开了半导体器件的制备方法、半导体器件以及测试方法,制备方法包括:在半导体层上形成互连结构以及覆盖所述互连结构的钝化层;形成暴露所述互连结构的窗口,所述互连结构暴露出来的表面具有凸起;形成剥离层,所述剥离层至少覆盖所述窗口暴露出来的互连结构的表面,并且包裹所述互连结构表面的凸起;以及去除所述剥离层,同时去除所述剥离层包裹的凸起。根据本发明实施例的半导体器件的制备方法以及测试方法,在互连结构表面形成剥离层,使得剥离层包裹互连结构表面的凸起,进而在去除剥离层的同时去除互连结构表面的凸起,以对互连结构表面进行平坦化。
今年以来晶合集成新获得专利授权273个,较去年同期增加了13.28%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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