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晶合集成获得实用新型专利授权:“一种晶圆夹持装置”

来源:证券之星企业动态 2024-12-17 02:27:39
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆夹持装置”,专利申请号为CN202420043537.5,授权日为2024年12月17日。

专利摘要:本实用新型提供了一种晶圆夹持装置,包括连接梁;承接板,滑动设于所述连接梁上;夹持板,滑动设于所述连接梁上;以及连接机构,连接于所述承接板与所述夹持板之间;其中,所述晶圆的重力挤压所述承接板时,所述承接板滑动并通过所述连接机构拉动所述夹持板滑动,直至所述晶圆夹持在所述承接板及所述夹持板之间,且所述承接板复位时,所述连接机构推动所述夹持板向着背离所述晶圆的方向移动。通过本实用新型提供的一种晶圆夹持装置,通过承接板支撑晶圆的重力,并利用晶圆重力拉动夹持板进一步夹持晶圆。可大大降低夹持装置与晶圆表面之间的磨损,从而大大减少晶圆破片的问题。

今年以来晶合集成新获得专利授权263个,较去年同期增加了12.88%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。

数据来源:天眼查APP

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