晶合集成获得实用新型专利授权：“反应炉”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“反应炉”，专利申请号为CN202323482040.8，授权日为2024年12月13日。

专利摘要：本申请涉及一种反应炉。反应炉包括炉体、承载架和进气管组件，炉体具有炉腔，承载架设于炉腔内，且用于承载晶圆。进气管组件包括一端伸入炉腔内的两个进气管，其中一进气管包括位于炉腔内的第一管段，另一个进气管包括位于炉腔内的第二管段。第一管段和第二管段的长度相等，且第一管段和第二管段分布围绕同一晶圆的至少部分，且第一管段上设有延伸至炉腔内的多个第一出气部，第二管段上设有延伸至炉腔内的多个第二出气部，多个第一出气部和多个第二出气部围绕对应的晶圆间隔布设。可提高晶圆上沉积的薄膜层的膜厚均匀性，且可摒弃驱动晶圆旋转的旋转机构的使用，一定程度上可有效提高晶圆的良率。

今年以来晶合集成新获得专利授权256个，较去年同期增加了10.82%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。