晶合集成获得实用新型专利授权：“一种显影装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种显影装置”，专利申请号为CN202420188439.0，授权日为2024年11月22日。

专利摘要：本实用新型提供了一种显影装置，包括腔体、吸盘、喷嘴、称重传感器、显示屏和电源；吸盘、喷嘴和称重传感器设置在腔体内，显示屏和电源设置在腔体外；喷嘴设置在吸盘的上方，称重传感器与吸盘的下表面连接；称重传感器与显示屏电连接，称重传感器和显示屏分别与电源电连接。在晶圆显影的过程中，可以通过称重传感器和显示屏获取同一型号的多个晶圆在不同重量W的显影液进行显影时实际用于显影的显影液的重量M，然后根据多组W和M数据，拟合得到W?M曲线，该曲线中突降的临界点B对应的M即为最佳的显影液用量，后续该型号的晶圆均可使用最佳的显影液用量进行显影，这样可以有效减少显影液用量和浪费，降低企业成本。

今年以来晶合集成新获得专利授权239个，较去年同期增加了17.16%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。

数据来源：天眼查APP

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