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比亚迪获得实用新型专利授权：“晶圆装载台以及晶圆成型装置”

来源：证券之星企业动态 2024-11-20 02:09:13

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示比亚迪（002594）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆装载台以及晶圆成型装置”，专利申请号为CN202323635471.3，授权日为2024年11月19日。

专利摘要：一种晶圆装载台以及晶圆成型装置，晶圆装载台包括承载台、装载盘以及凹凸结构，装载盘设于承载台并具有通孔，凹凸结构包括凸起和凹槽，凸起和凹槽其中之一设于承载台，另一设于装载盘，凸起伸入凹槽内。本申请技术方案通过在装载盘和承载台之间设置凹凸结构，以增大装载盘和承载台之间的接触面积，延长生长气体自装载盘和承载台的接缝到达晶圆背部的路径，减少生长气体到达晶圆背部的体积，减小生长气体对于晶圆背部的影响，降低晶圆背部的“雾化”面积。

今年以来比亚迪新获得专利授权3144个，较去年同期增加了5.19%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了196.21亿元，同比增41.82%。

数据来源：天眼查APP

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