晶合集成获得实用新型专利授权：“晶圆载具及机台”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆载具及机台”，专利申请号为CN202323573387.3，授权日为2024年11月12日。

专利摘要：本申请涉及一种晶圆载具及机台，该晶圆载具包括工作台，用于承载晶圆，工作台具有晶圆放置槽；工作台承载晶圆时，晶圆放置槽的槽边支撑晶圆的边缘，晶圆与晶圆放置槽的底面之间具有间隙；底部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽内，用于对所述晶圆施加第一压力；顶部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽的上方，用于对所述晶圆施加第二压力。该晶圆载具通过给与晶圆气压，使晶圆放置在工作台上时不弯曲，提高晶圆修整的准确性，使晶圆更容易达到加工标准，提高生产良率。

今年以来晶合集成新获得专利授权235个，较去年同期增加了15.2%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。