证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种半导体的减薄装置”,专利申请号为CN202322929623.4,授权日为2024年11月5日。
专利摘要:本实用新型提供一种半导体的减薄装置,半导体的减薄装置包括:承载台;多个抛光台,设置于所述承载台上,所述抛光台上设有抛光垫;多个抛光头,位于所述抛光台的顶部上,以减薄所述抛光台上的晶圆;以及多个吹气机构,其吹气口朝向所述半导体基板的顶部表面。本实用新型改善了半导体基板在减薄过程中出现的裂痕现象,提高了半导体基板的产品良率,提高了半导体基板的制程稳定性。
今年以来晶合集成新获得专利授权235个,较去年同期增加了15.2%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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