晶合集成获得发明专利授权：“一种沟槽深度在线测量的优化方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种沟槽深度在线测量的优化方法”，专利申请号为CN202411163715.9，授权日为2024年11月15日。

专利摘要：本发明提供一种沟槽深度在线测量的优化方法，包括以下步骤：提供两个第一检测晶圆，第一检测晶圆中形成有沟槽，采用第一配方在线检测沟槽深度的在线量测数据，第一检测晶圆包括由下至上依次设置的第一部分、第二部分和第三部分，沟槽贯通所述第三部分和第二部分，并刻蚀停止在第一部分中，第二部分包括ELK层；在一第一检测晶圆中填充金属材料，并去除所述沟槽外侧的金属材料，获得第二检测晶圆；制备第一检测样品和第二检测样品；通过TEM测量第一检测晶圆中沟槽的第一部分和第三部分的深度，还测量第二检测晶圆中沟槽的第二部分的深度，并根据测量结果优化第一配方并获得第二配方，使得TEM测量结果更加可靠，并确保在线量测准确性高。

今年以来晶合集成新获得专利授权235个，较去年同期增加了15.2%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。

数据来源：天眼查APP

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