证券之星消息，根据天眼查APP数据显示迈为股份（300751）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“磁控溅射镀膜设备RGA差分检测系统”，专利申请号为CN202420181405.9，授权日为2024年8月27日。
专利摘要：本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种磁控溅射镀膜设备RGA差分检测系统。该磁控溅射镀膜设备RGA差分检测系统包括RGA真空腔室、RGA本体、第一抽真空泵组和真空波纹管，其中，RGA本体和第一抽真空泵组均连通RGA真空腔室，真空波纹管的一端用于连通RGA真空腔室，真空波纹管的另一端用于连通工艺腔室，工艺腔室连通第二抽真空泵组，工艺腔室的真空度小于RGA真空腔室的真空度，工艺腔室内的气体能够经真空波纹管进入RGA真空腔室内并由RGA本体检测。该磁控溅射镀膜设备RGA差分检测系统能够扩大对气体真空度的检测范围，提高其灵活适用性，节约成本。
今年以来迈为股份新获得专利授权70个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了7.63亿元，同比增56.25%。
数据来源：天眼查APP
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