长川科技获得实用新型专利授权：“对准装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示长川科技（300604）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“对准装置”，专利申请号为CN202322859702.2，授权日为2024年7月2日。

专利摘要：本实用新型涉及一种对准装置，其包括基座、软质吸附件及柔性膜，其中，基座设有多个第一气路；软质吸附件设置于基座，软质吸附件设有多个间隔布置的吸附孔，各个吸附孔与各个第一气路一一对应连通；柔性膜设置于软质吸附件背离基座的一侧面，并设有与各个吸附孔一一对应连通的多个通孔。上述对准装置中，基座的第一气路、吸附孔及通孔相贯通形成了负压气路，可通过向负压气路通入负压气体以吸附晶圆，使得晶圆能够稳定可靠地吸附固定于软质吸附件；软质吸附件能够起到缓冲作用，且柔性膜的表面柔软，能够避免在晶圆与对准装置接触时对晶圆的背面产生划痕，能够对晶圆起到较好的保护作用。

今年以来长川科技新获得专利授权116个，较去年同期增加了2.65%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了7.15亿元，同比增10.87%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。