长川科技获得实用新型专利授权：“对准装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示长川科技（300604）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“对准装置”，专利申请号为CN202322863716.1，授权日为2024年7月2日。

专利摘要：本实用新型涉及一种对准装置，对准装置包括基座、伯努利吸盘及多个软质吸嘴，基座设有互相独立设置的第一气路及第二气路；软质吸嘴设置于基座并连通于第一气路，且多个软质吸嘴沿基座的周向间隔布置；伯努利吸盘设置于基座，并连通于第二气路，且伯努利吸盘设于各个软质吸嘴环绕围成的环形区间内。上述对准装置通过先通入正压气体至伯努利吸盘，并使得正压气体经由伯努利吸盘喷出而形成负压气旋以吸附晶圆，从而便于对晶圆进行预对位处理；之后，通过向软质吸嘴通入负压气体，以使得软质吸嘴吸附晶圆，可提高晶圆与软质吸嘴之间的对准效果；软质吸嘴通过负压吸附固定晶圆，软质吸嘴的柔软特性能够对晶圆起到缓冲作用，避免对晶圆造成划痕。

今年以来长川科技新获得专利授权116个，较去年同期增加了2.65%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了7.15亿元，同比增10.87%。

数据来源：企查查

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