上海新阳获得发明专利授权：“对准标记重现清洗装置及使晶圆上的对准标记重现的方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示上海新阳（300236）新获得一项发明专利授权，专利名为“对准标记重现清洗装置及使晶圆上的对准标记重现的方法”，专利申请号为CN201810036154.4，授权日为2024年6月7日。

专利摘要：本发明公开了一种对准标记重现清洗装置及使晶圆上的对准标记重现的方法。对准标记重现清洗装置包括基板、清洗桶、第一液管、喷嘴和真空管道。基板用于放置晶圆。清洗桶架设于晶圆的上方，清洗桶的外壁与内壁之间形成有环形空间。第一液管位于环形空间内，第一液管的出液口对应于晶圆上的对准标记，且第一液管的出液口的大小与对准标记的大小相适配。喷嘴设于清洗桶上，喷嘴与第一液管的进液口相连通，喷嘴用于向第一液管内通入刻蚀剂和清洗剂。真空管道设于清洗桶上，真空管道与环形空间相连通，真空管道的远离所述清洗桶的一端用于连接于真空设备。该对准标记重现清洗装置能够减少刻蚀剂和清洗剂的用量，减少对晶圆的二次污染。

今年以来上海新阳新获得专利授权31个，较去年同期增加了55%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.49亿元，同比增20.05%。

数据来源：企查查

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