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晶合集成获得发明专利授权:“一种半导体晶圆的对位标记的摆放方法”

来源:证券之星企业动态 2024-05-08 02:02:18
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证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体晶圆的对位标记的摆放方法”,专利申请号为CN202410101478.7,授权日为2024年5月7日。

专利摘要:本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种半导体晶圆的对位标记的摆放方法。掩膜版结构,包括:芯片图形区;内切割道区,设置于相邻芯片图形区之间;外切割道区,设置于多个芯片图形区四周;矩阵对位标记,呈矩形阵列布置于内切割道区或者外切割道区;对称对位标记,呈对称布置于内切割道区或者外切割道区;固定对位标记,布置于一个芯片图形区的一边或者一角;以及空白对位标记,布置于内切割道区或者外切割道区的空白区域。本发明可提高对位标记的摆放效率,使得对位标记自动化摆放的重复性能得到增强。

今年以来晶合集成新获得专利授权119个,较去年同期增加了142.86%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。

数据来源:企查查

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