证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体器件及其制作方法”,专利申请号为CN202410137954.0,授权日为2024年5月7日。
专利摘要:本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,属于半导体技术领域,所述半导体器件包括:衬底,包括并列设置的第一区域和第二区域;浅沟槽,设置在第一区域和第二区域之间;扩散抑制层,设置在浅沟槽的侧壁和底部,且侧壁上的扩散抑制层距离衬底的表面具有预设距离;碳扩散层,设置在扩散抑制层和衬底之间;还原氧化层,设置在扩散抑制层向衬底的表面延伸的一端;隔离氧化层,设置在扩散抑制层和还原氧化层上;隔离介质,设置在浅沟槽内,覆盖隔离氧化层;以及栅极氧化层,设置在第一区域和第二区域上。通过本发明提供的一种半导体器件及其制作方法,提高半导体器件的电性性能。
今年以来晶合集成新获得专利授权119个,较去年同期增加了142.86%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
数据来源:企查查
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