证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“图像传感器及其制作方法”,专利申请号为CN202410003972.X,授权日为2024年4月12日。
专利摘要:本发明提供一种图像传感器及其制作方法,所述方法包括:提供衬底,在衬底内形成阻挡层;对衬底进行离子注入,在阻挡层上形成第一光电二极管区;在衬底内形成多个隔离结构,每个隔离结构的底部均与阻挡层相接触,第一光电二极管区位于相邻隔离结构之间;在隔离结构上形成格栅;至少在衬底上形成具有掺杂元素的牺牲层,并进行快速热处理,使得掺杂元素扩散至衬底内,以在第一光电二极管区上形成第二光电二极管区。本发明采用离子注入与固相扩散相结合的方式形成光电二极管区,减小了离子注入的深度,从而能够减小由于离子注入对衬底造成的损伤,由此抑制串扰。
今年以来晶合集成新获得专利授权92个,较去年同期增加了119.05%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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