证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构及其制造方法”,专利申请号为CN202410078290.5,授权日为2024年4月9日。
专利摘要:本发明提供了一种半导体结构及其制造方法,其中半导体结构包括:衬底,衬底包括NMOS器件区和PMOS器件区,其中PMOS器件区包括预留区域,预留区域为PMOS器件区的源漏区域;栅极结构,设置在NMOS器件区上和PMOS器件区上;氮化层,覆盖NMOS器件区、PMOS器件区中栅极结构的侧部,以及PMOS器件区的部分衬底;氮氧化层,覆盖在氮化层上;预备沟槽,设置在衬底上,预备沟槽位于预留区域。本发明提供了一种半导体结构及其制造方法,能够提升半导体结构的成型质量和制程良率,并且更有利于提升PMOS器件的驱动电流。
今年以来晶合集成新获得专利授权87个,较去年同期增加了112.2%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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