证券之星消息,根据企查查数据显示迈为股份(300751)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“磁棒组件及磁控溅射设备”,专利申请号为CN202322368998.8,授权日为2024年3月29日。
专利摘要:本实用新型涉及电池制造技术领域,尤其涉及一种磁棒组件及磁控溅射设备。该磁棒组件包括磁轭和第一磁铁单元。其中,在磁轭上,沿磁轭的长度方向设置有多个第一磁铁单元,第一磁铁单元包括多个第一磁铁,多个第一磁铁呈海尔贝克阵列排布,且第一磁铁单元呈扇形状或梯形状,第一磁铁单元的外表面能够与靶材的内表面贴合,或,第一磁铁单元的外表面能够与靶材的内表面保持预设间隙。通过对第一磁铁单元中的第一磁铁按照海尔贝克阵列的方式进行排布,从而能够最充分地利用第一磁铁组合在一起时产生的磁场强度,使得该磁棒组件不仅能够提高磁场强度,还能够确保具有较窄的溅射角度,达到节约成本的目的。
今年以来迈为股份新获得专利授权25个,较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增39.56%。
数据来源:企查查
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