南 玻Ａ获得实用新型专利授权：“一种靶泵一体的旋转阴极设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示南 玻Ａ（000012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种靶泵一体的旋转阴极设备”，专利申请号为CN202322057358.5，授权日为2024年2月23日。

专利摘要：本实用新型公开了一种靶泵一体的旋转阴极设备，涉及真空镀膜技术领域，包括设备箱、盖板、靶材装置和多个真空泵，设备箱的内部设有腔室；盖板设置于设备箱内，并将腔室分隔为上腔室和下腔室；靶材装置设置于下腔室；真空泵设置于盖板，且真空泵的排气端位于上腔室，真空泵的抽空端穿过盖板与下腔室连通。本实用新型的靶泵一体的旋转阴极设备，阴极结构和抽真空结构集成度更高，非必要抽真空区域小，成本低，能耗低。

今年以来南 玻Ａ新获得专利授权40个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3.46亿元，同比增30.23%。

数据来源：企查查

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