晶合集成获得实用新型专利授权：“一种旋涂辅助装置和旋涂设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种旋涂辅助装置和旋涂设备”，专利申请号为CN202321628193.6，授权日为2023年12月26日。

专利摘要：本实用新型公开了一种旋涂辅助装置和旋涂设备，属于半导体技术领域。所述旋涂辅助装置包括：底座；电磁搅拌机构，设置在所述底座上；溶液存储泵室，设置在所述电磁搅拌机构上；溶液管道，所述溶液管道的输入端与所述溶液存储泵室连通；雾化喷头，与所述溶液管道的输出端连接；以及滴定喷头，与所述溶液管道的另一输出端连接。通过本实用新型提供的一种旋涂辅助装置，改善了溶液进行旋涂时的效果。

今年以来晶合集成新获得专利授权241个，较去年同期增加了88.28%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.46%。

数据来源：企查查

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