迈为股份新获得实用新型专利授权：“一种用于磁控溅射的阴极装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示迈为股份（300751）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于磁控溅射的阴极装置”，专利申请号为CN202321591391.X，授权日为2023年11月21日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于磁控溅射的阴极装置，该用于磁控溅射的阴极装置包括靶筒组件、靶材和磁棒组件，靶筒组件与外部驱动源相连，且在外部驱动源的驱动下转动，靶材套设于靶筒组件，磁棒组件设在靶筒组件的内部，且与靶筒组件传动配合，外部驱动源驱动靶筒组件转动时，磁棒组件能够沿靶筒组件的轴向做往复运动。在实际工作过程中，外部驱动源驱动靶筒组件转动，靶筒组件转动的过程中能够驱动磁棒组件沿靶筒组件的轴向做往复运动，这样使得磁棒组件产生的磁场在工作过程中沿靶筒组件的轴向做往复运动，使得刻蚀更加均匀，降低了溅射过程中形成的深刻区域的几率，从而延长靶材寿命，提高靶材利用率。

今年以来迈为股份新获得专利授权75个，较去年同期增加了31.58%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增39.56%。

数据来源：企查查

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