晶合集成新获得实用新型专利授权：“设备前端装置”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“设备前端装置”，专利申请号为CN202321666712.8，授权日为2023年11月24日。

专利摘要：本实用新型提供了一种设备前端装置，所述设备前端装置包括前开式晶圆盒、装载端口和净化装置，所述净化装置能够吸取所述前开式晶圆盒中的杂质，由此能够减少所述前开式晶圆盒中的水汽或者酸气，从而避免/减轻了对所述前开式晶圆盒中的晶圆造成腐蚀，提高了制程的可靠性。

今年以来晶合集成新获得专利授权222个，较去年同期增加了85%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.46%。

数据来源：企查查

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