证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构及其制备方法”,专利申请号为CN202311055742.X,授权日为2023年11月28日。
专利摘要:本发明提供一种半导体结构,包括:衬底;栅极结构,形成于所述衬底上;侧墙结构,形成于所述衬底上,所述侧墙结构包括多个侧墙层,所述侧墙层位于所述栅极结构的外围;以及源极结构与漏极结构,形成于所述衬底上,所述源极结构与所述漏极结构位于所述侧墙结构的两侧;其中,相邻两个所述侧墙结构之间的间距大于所述源极结构和/或所述漏极结构的长度。通过本发明公开的一种半导体结构及其制备方法,能够提高半导体结构的可靠性。
今年以来晶合集成新获得专利授权205个,较去年同期增加了81.42%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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