证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体结构的制作方法以及半导体结构”,专利申请号为CN202311036931.2,授权日为2023年11月14日。
专利摘要:本申请提供了一种半导体结构的制作方法以及半导体结构。该方法包括:首先,提供衬底;之后,在衬底的部分表面上形成多个间隔设置的栅极结构,栅极结构包括第一栅极结构和多个第二栅极结构,多个第二栅极结构位于第一栅极结构一侧,且任意两个第二栅极结构之间的距离沿着预定方向逐渐增大;之后,在各第二栅极结构两侧的衬底中形成多个间隔的掺杂区;最后,对掺杂区进行退火操作,使得掺杂区离子扩散,形成连续的阶梯状掺杂区。该方法通过设置多个间隔的第二栅极结构,且相邻第二栅极结构之间的距离依次增大,因而通过离子注入以及退火可以形成阶梯状掺杂区,消除了衬底辅助耗尽效应,进而解决了现有技术中半导体器件的耐压能力较低的问题。
今年以来晶合集成新获得专利授权199个,较去年同期增加了76.11%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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