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芯源微(688037)答投资者问

4月份，芯源微广州子公司光刻胶泵及高纯供液系统产业化项目开工，是否意味着公司在track设备上游核心零部件之一的胶泵技术方面已经突破？谢谢

尊敬的投资者，您好！公司控股子公司广州芯知致力于开展光刻胶泵等核心零部件研发及产业化，打破国外对“卡脖子”物料垄断。目前该项目产业化进展顺利。感谢您的关注！

来源：e互动     答复时间：2024/7/2 17:24:42

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