晶盛机电获得实用新型专利授权：“MOCVD镀膜设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“MOCVD镀膜设备”，专利申请号为CN202422879345.0，授权日为2025年10月10日。

专利摘要：本实用新型提供了一种MOCVD镀膜设备，属于半导体加工技术领域，解决了现有技术MOCVD镀膜设备镀膜质量欠佳的问题。本实用新型包括壳体，壳体内形成一反应腔，反应腔连通有进气管，进气管用于输送前驱体；基台，基台设置于反应腔内，基台用于承载基片；加热组件，加热组件设置于基台下方，且加热组件作用于基台以进行加热；调整组件，调整组件包括顶压件和施力件，顶压件设置于反应腔内，且顶压件与基台连接，施力件至少部分位于反应腔外，且施力件与顶压件连接，施力件具有水平方向的活动自由度。本申请通过设置调整组件可以调整基台的水平位置，从而纠正基台上基片的位置，以此保证基片位于反应腔中心，提高金属沉积的均匀度，即提高了镀膜质量。

今年以来晶盛机电新获得专利授权98个，较去年同期减少了2.97%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了35家企业，参与招投标项目199次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1088条，著作权信息139条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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