晶盛机电获得实用新型专利授权：“MOCVD镀膜装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“MOCVD镀膜装置”，专利申请号为CN202422878654.6，授权日为2025年10月3日。

专利摘要：本实用新型提供了一种MOCVD镀膜装置，属于半导体加工技术领域，解决了现有技术MOCVD镀膜装置镀膜质量欠佳的问题。本实用新型包括壳体，壳体内形成一反应腔，反应腔用于供物料反应，反应腔连通有第一管路，第一管路用于输送前驱体；基台，基台设置于反应腔内，基台用于承载基片；第一加热组件，第一加热组件设置于基台下方，且第一加热组件作用于基台以进行加热；以及第二加热组件，第二加热组件设置于壳体与反应腔之间，且第二加热组件作用于反应腔以进行加热。本申请通过在壳体与反应腔之间设置第二加热组件，第二加热组件对反应腔外周加热，从而提高反应腔的受热均匀性，以此提高基台上方的金属沉积均匀性，进而提高MOCVD镀膜装置的镀膜质量。

今年以来晶盛机电新获得专利授权97个，较去年同期减少了3.96%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目198次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1086条，著作权信息139条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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