中国石化获得发明专利授权：“一种具有Z轴止挡的圆片级真空封装方法和MEMS封装结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中国石化（600028）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种具有Z轴止挡的圆片级真空封装方法和MEMS封装结构”，专利申请号为CN202110175301.8，授权日为2025年7月25日。

专利摘要：本发明公开了一种具有Z轴止挡的圆片级真空封装方法、及利用该方法制成的MEMS封装结构，包括：制备盖板圆片；在盖板圆片刻蚀键合用空腔及止挡结构，其中，止挡结构构造为空腔凹槽内侧的凸起部，且止挡结构的设置位置与在完成键合后MEMS器件可动结构在Z轴方向上的活动位置相对应；在盖板圆片的表面制备介质层；去除止挡结构表面的介质层；在盖板圆片中制备用来实现键合的键合区，以及在空腔内制备吸气剂；将经过一系列处理的盖板圆片与结构圆片进行键合实现圆片级真空封装；对封装好的MEMS器件进行引线孔刻蚀。本发明在实现圆片级真空封装的同时，还解决了Z轴方向上的过载问题，具有工艺兼容性强、成本低、可实现批量生产的特点。

今年以来中国石化新获得专利授权1847个，较去年同期减少了45.39%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了152.15亿元，同比增8.92%。

通过天眼查大数据分析，中国石油化工股份有限公司共对外投资了263家企业，参与招投标项目15584次；财产线索方面有商标信息106条，专利信息88707条，著作权信息1164条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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