华海清科获得发明专利授权：“晶圆研磨时间预测方法、装置、电子设备及计算机存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆研磨时间预测方法、装置、电子设备及计算机存储介质”，专利申请号为CN202411959839.8，授权日为2025年7月15日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆研磨时间预测方法、装置、电子设备及计算机存储介质，该方法包括：在对晶圆进行化学机械研磨的过程中，获取光检测模块接收到的目标光的第一光强，目标光为光发射模块向晶圆的被磨层发射单波长光时，单波长光的第一分光和第二分光经晶圆传播并相互干涉形成的光，第一分光为单波长光中发射至被磨层且在被磨层的表面反射的光，第二分光为单波长光中折射至被磨层内、被晶圆的非被磨层的表面反射、且折射至被磨层远离非被磨层一侧的光；根据已获取到的第一光强，确定第一光强变化波形；根据至少部分第一光强变化波形，预测晶圆的研磨时间终点。本方案可以提高化学机械研磨过程中确定出的研磨时间终点的准确性。

今年以来华海清科新获得专利授权50个，较去年同期增加了138.1%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目227次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息684条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可30个。

数据来源：天眼查APP

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