微导纳米获得实用新型专利授权：“一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置”，专利申请号为CN202422094888.1，授权日为2025年7月15日。

专利摘要：本实用新型提供了一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置，通过对硅片的承载舟的结构进行改进，从而提高硅片加工的良品率。承载舟能够放置于炉管内，炉管内流通有加工气体，所述硅片的承载舟包括两个端板和间隔组件，两个所述端板在第一方向间隔布设，所述间隔组件位于两个所述端板之间，并与所述端板之间限定有至少两个载片腔部，各所述载片腔部内均可容纳有若干硅片，位于同一所述载片腔部内的硅片沿所述第一方向依次排列；各所述载片腔部均设置有进气通道，所述进气通道的延伸方向与所述第一方向相垂直。通过采用本申请的技术方案，能够减小硅片所受压力，避免硅片发生损伤，提高硅片加工的良品率。

今年以来微导纳米新获得专利授权45个，较去年同期增加了36.36%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息516条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源：天眼查APP

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