晶盛机电获得发明专利授权：“晶圆研磨加工去除率的预测模型的训练方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆研磨加工去除率的预测模型的训练方法”，专利申请号为CN202510405262.4，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本申请提供一种晶圆研磨加工去除率的预测模型的训练方法，涉及晶圆研磨加工领域。该方法获取多个批次晶圆研磨加工的参数特征；获取多个批次晶圆研磨加工的辅料使用寿命，辅料至少包括研磨垫；研磨垫基于使用寿命划分多个生命周期阶段，每个生命周期阶段均建立性能退化模型；针对每个批次的晶圆研磨加工，基于该批次晶圆研磨加工中研磨垫的使用寿命和性能退化模型确定该批次晶圆研磨加工的性能退化特征，每个批次晶圆研磨加工至少包括一个性能退化特征；将性能退化特征与参数特征合并，构建加强数据集；通过加强数据集训练机器学习模型，得到去除率预测模型。该训练方法得到的预测模型能够更精准地预测晶圆研磨加工中的去除率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权72个，较去年同期减少了11.11%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目194次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1031条，著作权信息135条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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