微导纳米获得实用新型专利授权：“一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统”，专利申请号为CN202422027461.X，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本申请涉及一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统，其中，硅烷尾气处理装置包括依次连通设置的第一管路、驱动泵、第二管路和尾气燃烧部；第二管路设有温度检测部件和压力检测部件；第一管路设有第一阀件。该硅烷尾气处理装置能够在对硅烷尾气进行处理的同时，保证安全性。

今年以来微导纳米新获得专利授权42个，较去年同期增加了35.48%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息510条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源：天眼查APP

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