微导纳米获得实用新型专利授权：“基片承载装置及基片处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“基片承载装置及基片处理设备”，专利申请号为CN202422027868.2，授权日为2025年7月1日。

专利摘要：本申请涉及一种基片承载装置，包括桨杆及支撑结构。支撑结构设置在桨杆上，支撑结构包括并排设置的第一承载组及第二承载组，第一承载组和第二承载组均具有用于承载基片的承载位，第一承载组和第二承载组之间形成有限位间隙，桨杆至少部分嵌入限位间隙，以限制支撑结构翻转。在将基片承载装置放置于石英管内后，桨杆至少部分嵌入第一承载组和第二承载组之间的限位间隙，从而可以避免支承结构翻转，保证支撑的稳定性。另外，由于支撑结构上沿桨杆的宽度方向上具有第一承载组和第二承载组，第一承载组和第二承载组均具有承载基片的承载位，从而利用石英管内宽度方向的尺寸，提高空间利用率，增加载片量，从而提高加工效率。本申请还涉及一种基片处理设备。

今年以来微导纳米新获得专利授权39个，较去年同期增加了30%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目46次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息507条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源：天眼查APP

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