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华海清科获得发明专利授权：“一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备”

来源：证券之星企业动态 2025-06-17 03:06:46

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202211325516.4，授权日为2025年6月17日。

专利摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备，该承载头包括连轴盘、平衡架、承载盘、柔性膜和保持环；所述平衡架可滑动地设置于连轴盘的中心通孔内并通过平衡架的底部带动承载盘相对于连轴盘上下移动，柔性膜的一部分被夹紧至承载盘下部以形成密封腔室；所述承载盘的靠近边缘与保持环邻接的对应位置设有磁吸部，用于吸合保持环。

今年以来华海清科新获得专利授权45个，较去年同期增加了150%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

数据来源：天眼查APP

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