证券之星消息,根据天眼查APP数据显示德龙激光(688170)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶圆加热装置”,专利申请号为CN202421621994.4,授权日为2025年6月17日。
专利摘要:本实用新型涉及一种晶圆加热装置,从下往上依次包括底座板和载台上板,在载台上板上安装有吸附圆盘;在吸附圆盘下方的压盘顶部的压盘腔体内安装有加热垫,吸附圆盘的底部与下方的加热垫紧贴;顶升电机顶部的驱动端驱动上方的升降圆盘在竖直方向上移动,在升降圆盘上安装有若干个导向杆,在导向杆的顶部安装有吸嘴。本实用新型可以作为单独的载台使用,也可以集成在自动化机台内使用;可通过控制不同的吸附区域从而兼容不同尺寸晶圆片的加热工艺。
今年以来德龙激光新获得专利授权17个,较去年同期增加了21.43%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了1.3亿元,同比增25.78%。
数据来源:天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。