证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆清洗方法”，专利申请号为CN202210972270.3，授权日为2025年6月17日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆清洗方法，其包括：S1，将晶圆放置于槽体内的滚轮组件，滚轮组件竖向支撑待清洗的晶圆；S2，槽体内的清洗刷通水并朝向晶圆移动至清洗位置，清洗刷滚动以接触的方式清洗晶圆表面；S3，完成刷洗的清洗刷远离晶圆，槽体内的清洁件朝向滚轮组件喷射流体，以冲洗滚轮组件积聚的颗粒物。
今年以来华海清科新获得专利授权45个，较去年同期增加了150%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
数据来源：天眼查APP
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