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天奈科技：单壁碳纳米管制备的防护膜可作为EUV防尘膜材料

来源：证星互动追踪 2025-06-11 15:34:42

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证券之星消息，天奈科技(688116)06月11日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：据媒体报道:碳纳米管替代碳纤维，清华大学化工系张如范团队已经在做产业化了。碳纳米管做euv掩模的防尘掩膜罩，传统EUV薄膜为硅基薄膜。对比而言，碳纳米管薄膜具有高EUV透射率（92％或以上◇和曝光输出超过1kW的耐光性◇可支持ASML将推出的下一代拥有超过600W光源功率的EUV光刻机。请公司对上述碳纳米管单臂的应用原理进行说明？

天奈科技回复：尊敬的投资者，您好！由于单壁碳纳米管长径比极大，用它制备的防护膜不仅可以有效过滤纳米级颗粒污染物，还能具有极高的极紫外光透过率，因此可作为EUV防尘膜材料；此外，随着光刻技术要求的不断提高，EUV能量也随之增大，现有防尘膜无法承受更高的光刻能量，碳纳米管耐热性极佳，可轻松应对严苛的使用工况。感谢您的关注！

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