证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种抛光设备及方法”，专利申请号为CN202510338385.0，授权日为2025年6月10日。
专利摘要：本申请涉及晶圆加工领域，尤其是涉及一种抛光设备及方法，抛光装置包括：抛光盘，所述抛光盘上粘接有抛光垫；第一机构，所述第一机构用于检测所述抛光垫和所述抛光盘之间是否存在气泡；以及第二机构，所述第二机构相应于所述第一机构，所述第二机构用于消除所述抛光垫和所述抛光盘之间的气泡。达到了减小气泡对抛光品质影响的技术效果。
今年以来晶盛机电新获得专利授权58个，较去年同期减少了21.62%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。
数据来源：天眼查APP
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