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五方光电获得发明专利授权:“一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置”

来源:证券之星企业动态 2025-06-07 03:14:03
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示五方光电(002962)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置”,专利申请号为CN202411145772.4,授权日为2025年6月6日。

专利摘要:本发明涉及晶圆加工技术领域,公开了一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置,包括工作台、用于承载待打磨晶圆的上料机构、驱动上料机构升降的顶升机构、用于将多个晶圆夹紧的夹固机构,所述上料机构设置在顶升机构上,所述夹固机构安装在顶升机构的两端;将夹料组件与夹块吸附连接后放进第一缺槽的内部,并将多个晶圆依次放进相邻两个夹块之间,再将装有晶圆的上料机构放在承载板上,将晶圆抬升至与两个夹持件同高的位置,再驱动两个夹持件靠近并抵触最边上的两个夹块,即可将多个晶圆定位在夹块之间,然后再将夹料组件取下,就可进行磨圆处理,此晶圆连接方式,杜绝了晶圆表面粘黏蜡,消除了后期测试时蜡对产品光谱的影响。

今年以来五方光电新获得专利授权6个,较去年同期增加了500%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了7389.8万元,同比增60.12%。

数据来源:天眼查APP

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