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德龙激光获得发明专利授权：“一种兼容性晶圆载台装置”

来源：证券之星企业动态 2025-06-04 02:46:43

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示德龙激光（688170）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种兼容性晶圆载台装置”，专利申请号为CN202310141902.6，授权日为2025年6月3日。

专利摘要：本发明涉及一种兼容性晶圆载台装置，包括支撑台面和产品载台，产品载台通过载台底座安装在支撑台面上的中间位置，产品载台外侧的支撑台面上沿着圆周方向均匀的设置有若干个弧形结构的支撑座，支撑座上安装有两个抚平机构，其中一个抚平机构位于靠近产品载台的一侧，另一个抚平机构位于远离产品载台的一侧。本发明补全了裸晶圆加载台装置工和晶圆带加工载台装置设计的空缺，增加了抚平机构对裸晶圆和晶圆带进行抚平操作；本发明可根据产品翘曲高度和产品尺寸选用不同的抚平装置和调整，无需拆装。

今年以来德龙激光新获得专利授权13个，较去年同期减少了7.14%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了1.3亿元，同比增25.78%。

数据来源：天眼查APP

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