证券之星消息,根据天眼查APP数据显示天合光能(688599)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种垂直型ALD设备”,专利申请号为CN202421314028.8,授权日为2025年5月20日。
专利摘要:本实用新型提供一种垂直型ALD设备,包括:内腔、多个装载装置和多个工艺装置;物料设置于所述装载装置上,所述多个装载装置间隔设置于所述内腔的侧壁中,所述装载装置用于带动所述物料沿轴向方向移动。通过在内腔的侧壁中设置多个可上下移动的装载装置,带动放置在装载装置上的多个电池片进行上下移动,充分利用了上方的空间,减小了ALD设备的横向占地面积。且横向设置的多个装载装置上均能放置多个电池片,多个工艺装置依次对上下移动的多个电池片进行吹扫,实现批量电池片的ALD工艺操作,提高了电池片的产能。
今年以来天合光能新获得专利授权212个,较去年同期增加了15.22%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了18.46亿元,同比增19.62%。
数据来源:天眼查APP
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