华海清科获得发明专利授权：“晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法”，专利申请号为CN202510012184.1，授权日为2025年5月16日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法。晶圆支撑座包括：支撑组件；支撑轴，所述支撑组件可摆动地连接于所述支撑轴；驱动轮，装设于所述支撑组件；测速轮，装设于所述支撑组件，并且，所述驱动轮与所述测速轮的转轴平行设置，所述驱动轮和所述测速轮的周向外缘均开设有用于支撑晶圆的环形槽；配重件，连接于所述支撑组件，用于对所述支撑组件施加可摆动的力。本申请中，在晶圆自身重力作用下，摆动的驱动轮和测速轮会自动找正晶圆的支撑位置，晶圆在驱动轮和测速轮中的插入深度可保持稳定，驱动轮和测速轮可对晶圆进行稳定支撑以及减少晶圆的掉速机率。

今年以来华海清科新获得专利授权37个，较去年同期增加了146.67%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

数据来源：天眼查APP

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