华海清科获得实用新型专利授权：“用于晶圆加工的吸附装置、晶圆磨削装置及晶圆减薄设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“用于晶圆加工的吸附装置、晶圆磨削装置及晶圆减薄设备”，专利申请号为CN202421768562.6，授权日为2025年5月16日。

专利摘要：本申请提供一种用于晶圆加工的吸附装置、晶圆磨削装置及晶圆减薄设备。吸附装置包括吸附板、吸盘、具有轴向通孔的通流轴以及安装座，吸附板设置在吸盘的容纳腔中；通流轴穿过安装座与吸盘之间的贴合面延伸到吸盘中，以避开吸盘和安装座之间的贴合面从吸盘抽吸流体进行晶圆吸附或向吸盘输入流体进行晶圆释放；吸盘构造有与容纳腔流体连通的流体通道，轴向通孔经由所述流体通道与吸附板流体连通。根据本申请的技术方案，使得真空吸附或释放晶圆的流体路径避开了吸盘与安装座之间的贴合面，避免了微小颗粒随着流体进入贴合面，保证了吸盘和安装座之间的清洁、紧密的贴合状态，并且保证了晶圆磨削的准确性，提高晶圆磨削质量。

今年以来华海清科新获得专利授权37个，较去年同期增加了146.67%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

数据来源：天眼查APP

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