京东方Ａ获得发明专利授权：“一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京东方Ａ（000725）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备”，专利申请号为CN202210351933.X，授权日为2025年4月29日。

专利摘要：本公开实施例提供一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备。方法包括：根据待曝光基板的多个待曝光版图，确定目标扫描速度和各待曝光版图分别对应的预设曝光剂量；根据各待曝光版图和各预设曝光剂量，确定各预设曝光剂量在待曝光基板上对应的各曝光区域；根据各预设曝光剂量，确定参考曝光剂量；基于目标扫描速度对待曝光基板进行扫描，在扫描至各曝光区域的情况下，调节数字曝光机的数字微镜单元在曝光区域的曝光剂量为对应的目标曝光剂量；其中，根据曝光区域对应的预设曝光剂量、参考曝光剂量以及预设的目标剂量关系式，确定对应的目标曝光剂量。本公开的技术方案，可以实现一次扫描过程中的多剂量曝光，节约了曝光时间。

今年以来京东方Ａ新获得专利授权1496个，较去年同期增加了9.52%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了131.23亿元，同比增15.94%。

数据来源：天眼查APP

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